為什么我需要監(jiān)視潔凈室的狀態(tài)?潔凈室為什么要進行實時在線塵埃粒子監(jiān)測?

　　有兩個主要的原因，你會監(jiān)視你的潔凈室。一個是驗證您的過程環(huán)境是否在所需的規(guī)格下執(zhí)行。另一種是記錄過程環(huán)境的歷史數(shù)據(jù)。潔凈室是根據(jù)要生產(chǎn)的產(chǎn)品的具體要求而建造的。污染對這些產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量有負面影響。潔凈室環(huán)境非?；钴S，產(chǎn)品和人員在不斷變化，因此污染事件隨時可能發(fā)生。通過監(jiān)測，您可以隨時了解環(huán)境何時不安全地生成產(chǎn)品?；仡櫄v史數(shù)據(jù)的能力是一個非常有價值的工具。趨勢圖和事件記錄可以幫助定義設備和清潔的維護周期。此外，參考這些數(shù)據(jù)后，死后分析就會簡化。這些報告將作為可用于向客戶，政府組織和監(jiān)管委員會提供支持數(shù)據(jù)的記錄。

　　我不能每天只雇一些人到每個房間去衡量每個地區(qū)的清潔程度嗎?

　　從歷史上看，大多數(shù)公司都是以這種方式開始的，但是公司了解到，確定房間中的粒子水平并不像一次讀取那么簡單。無論產(chǎn)品暴露在何處，整個潔凈室內(nèi)的多個位置都必須測量微粒級別。在HEPA或ULPA過濾器附近進行測量的情況下，可能會顯示出較低的顆粒水平，但在產(chǎn)品水平上，工作表面的顆粒水平可能不合格，導致產(chǎn)品缺陷并降低產(chǎn)量。潔凈室過程是動態(tài)的。粒子脫落事件很難預測，并且可以在一天中隨機發(fā)生。以持續(xù)的自動化的方式監(jiān)視這個環(huán)境將有助于在這些類型的問題失控或影響生產(chǎn)之前發(fā)現(xiàn)這些問題。價值數(shù)百萬美元的產(chǎn)品可以每天通過潔凈室，具體取決于設施的類型。發(fā)現(xiàn)污染問題遲到一兩天可能是一個昂貴的和/或災難性的情況。在大多數(shù)情況下，污染監(jiān)測設備和系統(tǒng)的投資回報(ROI)可以在前幾個檢測到的事件中實現(xiàn)。

　　我怎樣才能有效地監(jiān)控我的潔凈室?

　　首先，您必須確定產(chǎn)品和流程的風險。另外，您需要了解潔凈室的設計意圖。這是必要的，因為您想為應用程序選擇合適的儀器。10000級(ISO 7級)潔凈室將不會被有效監(jiān)測0.1微米。使用0.3或0.5粒子計數(shù)器將是更好的選擇。

　　確定關(guān)鍵位置(污染可能影響產(chǎn)品或大量產(chǎn)品的位置)

　　確定繁忙的地點(產(chǎn)品移動或正在制造的地點)。

　　在運行狀態(tài)下對無塵室微粒數(shù)據(jù)進行評估。在操作狀態(tài)下收集數(shù)據(jù)(制造過程實際發(fā)生時)對于確定您處于風險中的位置非常重要。

　　當達到和/或超過控制極限時，污染監(jiān)測系統(tǒng)將能夠跟蹤，記錄和報警。

　　我需要監(jiān)測什么尺寸的顆粒?

　　這是由您的產(chǎn)品或您的過程決定的。覆蓋率和預算等其他因素也在起作用?？赡苡绊懩漠a(chǎn)品或更小的最小尺寸的顆粒是一個很好的起點。但是，整個過程的預算和覆蓋面也必須考慮在內(nèi)。記住一個重要的因素。粒子脫落事件發(fā)生在一個以上的粒度。在0.1微米或更低的分辨率的潔凈室中有一個粒子傳感器，而在同一潔凈室中有十個具有0.3微米分辨率的粒子傳感器可能不是一個更好的情況。你必須看看發(fā)生了什么，風險是什么。有時，許多較不敏感的傳感器比幾個或更敏感的傳感器中的一個更好。

　　我如何確定在潔凈室中需要監(jiān)測的空氣顆粒樣點的數(shù)量，以及我應該在哪里找到它們?

　　監(jiān)測點的位置和數(shù)量主要取決于產(chǎn)品和生產(chǎn)過程的要求，以及如何理解系統(tǒng)的使用。

　　我如何證明自動監(jiān)測系統(tǒng)的費用是合理的?

　　為什么我不能使用我的樓宇自動化或設施控制系統(tǒng)來監(jiān)控我的潔凈室?

　　我們的許多客戶已經(jīng)提出了這個問題，從技術(shù)的角度來看，這是可能的。沒有完全集成到環(huán)境控制系統(tǒng)有幾個原因?？刂葡到y(tǒng)的主要責任是保持設施在一組給定的參數(shù)之間運行?？刂品秶鷥?nèi)的數(shù)據(jù)通常不會被記錄。設施組的主要職責是通過維護和修理公用設施，使設施在設定點內(nèi)運行。污染監(jiān)測更多地是質(zhì)量，工程或污染控制組的主要功能。傳感點放置與數(shù)據(jù)不同的意圖。

　　我們通常會將LMS系統(tǒng)集成到環(huán)境控制系統(tǒng)中，實際上我們鼓勵客戶這樣做。將這些數(shù)據(jù)(單向或雙向)集成到BCS或從BCS集成將增加兩個系統(tǒng)上的監(jiān)控點數(shù)量，從而讓客戶更好地了解受控環(huán)境中的情況。

　　控制系統(tǒng)和監(jiān)控系統(tǒng)有什么區(qū)別?

　　這些系統(tǒng)之間的主要區(qū)別在于它們所服務的體系結(jié)構(gòu)和原則。樓宇控制系統(tǒng)是根據(jù)設施的關(guān)鍵參數(shù)進行設計和安裝的。安裝該系統(tǒng)的傳感器并提供反饋，以便自動補償超出規(guī)定的事件。監(jiān)控系統(tǒng)適用于監(jiān)控信息的過程和產(chǎn)品水平。這兩個系統(tǒng)在一般環(huán)境中可能會有一些重疊，但這兩者對于調(diào)整您的過程是非常必要的。如果沒有監(jiān)控的過程級別，由于人員或設備的影響，您將無法檢測到過程環(huán)境的變化。

　　何時何地應該使用基于離散的粒子計數(shù)器系統(tǒng)與歧管類型?

　　兩個系統(tǒng)都有它們的地位和用處?；陔x散的或遠程的粒子計數(shù)器系統(tǒng)可以提供很高的分辨率而不會丟失任 每點的成本比歧管系統(tǒng)更昂貴，但有更好的機會捕捉間歇性的粒子偏移。多管采樣系統(tǒng)的成本效益要高得多，但是由于在歧管上旋轉(zhuǎn)一整圈所花費的時間，犧牲了分辨率。您添加到歧管的歧管點越多，完成一個循環(huán)所用的時間就越長，并且可能在抽樣其他位置時錯過事件。

　　在評估您的過程以確定是否應使用離散傳感器或歧管系統(tǒng)時，請考慮以下事項：

　　你想要監(jiān)控多少點?

　　你的預算是多少?

　　在那個地方?jīng)]有信息的時間最長的是什么?

　　您關(guān)心的工具是否有周期時間?(自動化，過程或清潔周期)

　　這是你的過程中的關(guān)鍵位置?

　　這個地方有相當多的產(chǎn)品量嗎?

　　你有什么資料要報告給誰?

　　簡而言之，如果一個完整的采樣周期的最大時間超過了您的最大持續(xù)時間，您可以從一個點沒有數(shù)據(jù)，您應該嘗試使用該位置的離散傳感器。在許多情況下，燈塔將推薦混合系統(tǒng)，或同時使用多種系統(tǒng)和獨立系統(tǒng)。用于非關(guān)鍵或較小關(guān)鍵位置的歧管系統(tǒng)，以及用于該關(guān)鍵部分的離散傳感器。這將使優(yōu)秀的覆蓋面和數(shù)據(jù)，仍然是成本效益。

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