半導(dǎo)體車間專用在線粒子計(jì)數(shù)器的工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域

在諸如醫(yī)學(xué)，電子，精密機(jī)械和微生物等行業(yè)中，必須嚴(yán)格控制半導(dǎo)體車間環(huán)境的清潔度，以使其符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和產(chǎn)品質(zhì)量，包括工作臺(tái)，潔凈室和各種粉塵車間的清潔度。 。監(jiān)控并測(cè)試凈化效果和清潔度。在線顆粒計(jì)數(shù)儀是一種用于在清潔環(huán)境中測(cè)量每單位體積灰塵顆粒的數(shù)量和尺寸分布的儀器，從而為評(píng)估空氣清潔度提供了基礎(chǔ)。讓我們仔細(xì)看看該產(chǎn)品的基本工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域！

遙測(cè)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是智能多點(diǎn)凈化檢測(cè)系統(tǒng)的終端設(shè)備。它可以為用戶提供所監(jiān)視環(huán)境中顆粒數(shù)量和純化水平的實(shí)時(shí)，準(zhǔn)確的遠(yuǎn)程測(cè)量，并且可以根據(jù)不同的需求增加或減少?？刂平K端實(shí)現(xiàn)7×24實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程自動(dòng)監(jiān)控；通過(guò)RJ45網(wǎng)絡(luò)接口，WiFi，485（總線）等將數(shù)據(jù)發(fā)送到PC終端以顯示當(dāng)前監(jiān)視環(huán)境的清潔度。顆粒計(jì)數(shù)器根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1，GMP和日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JIS）進(jìn)行校準(zhǔn)。它專業(yè)用于電子行業(yè)，制藥車間，半導(dǎo)體，光學(xué)或精密加工以及其他無(wú)塵室環(huán)境自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)。

在線粒子計(jì)數(shù)器的工作原理

粒子計(jì)數(shù)器是一種使用光散射原理對(duì)灰塵粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)的儀器。光散射與顆粒的尺寸，光的波長(zhǎng)，顆粒的折射率以及顆粒的光吸收特性有關(guān)。但是，就散射光的強(qiáng)度和粒徑而言，存在一個(gè)基本規(guī)則，即顆粒的散射光的強(qiáng)度隨顆粒表面積的增加而增加。這樣，一定量的含塵氣體流會(huì)通過(guò)一束強(qiáng)光，從而使粒子發(fā)出散射光。散射光通過(guò)聚光鏡投射到光電倍增管上，并且光脈沖被轉(zhuǎn)換為電脈沖。 。粒子數(shù)是根據(jù)脈沖數(shù)計(jì)算的。

根據(jù)被顆粒散射的光的強(qiáng)度與顆粒尺寸之間的函數(shù)關(guān)系來(lái)確定顆粒尺寸。這樣，可以通過(guò)測(cè)量散射光的強(qiáng)度來(lái)推斷粒子的大小，這是光散射粒子計(jì)數(shù)器的基本原理。實(shí)際上，每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光的強(qiáng)度通常很弱。這是一個(gè)非常小的光脈沖，必須通過(guò)光電轉(zhuǎn)換器將其放大，然后將光脈沖轉(zhuǎn)換為具有較大信號(hào)幅度的電脈沖。電子電路被進(jìn)一步放大和屏蔽，以完成大量電脈沖的計(jì)數(shù)能力。此時(shí)，電脈沖的數(shù)量與粒子的數(shù)量相對(duì)應(yīng)，電脈沖的幅度與粒子的數(shù)量相對(duì)應(yīng)。

案例研究：

顆粒特別是灰塵顆粒的存在直接影響藥品的質(zhì)量并危及人們的生命。大量臨床資料表明，如果該藥物被0. 7?2um的塵埃顆粒污染，尤其是靜脈注射，會(huì)引起熱源反應(yīng)，肺動(dòng)脈炎，微血栓形成或異物肉芽腫等，導(dǎo)致死了在嚴(yán)重的情況下。進(jìn)入血管系統(tǒng)的顆粒對(duì)人體的危害與顆粒的數(shù)量，大小以及物理和化學(xué)性質(zhì)有關(guān)。另外，微生物污染是生產(chǎn)環(huán)境中最重要的因素，與控制最終產(chǎn)品的微生物負(fù)荷有關(guān)。

研究表明，微生物不能獨(dú)立地存在于空氣中。它們要么以菌落的形式存在，要么必須附著在無(wú)活性的塵埃顆粒上（尤其是直徑大于0.5μm的顆粒）。這也將空氣中微生物的水平與灰塵顆粒的水平聯(lián)系起來(lái)。潔凈室中的各種硬件系統(tǒng)控制著空氣中懸浮顆粒的數(shù)量，從而減少了空氣對(duì)微生物的污染。因此，GMP要求對(duì)清潔區(qū)域中的灰塵顆粒進(jìn)行有效監(jiān)控。

空氣清潔度是指在清潔環(huán)境中空氣中的灰塵（顆粒）程度。高粉塵濃度意味著低清潔度，低粉塵濃度意味著高清潔度。新版GMP將生產(chǎn)無(wú)菌藥物所需的清潔度分為4級(jí)。制造商不僅必須確認(rèn)潔凈室的高度，還必須監(jiān)視潔凈區(qū)。塵粒測(cè)試狀態(tài)有兩種：靜態(tài)和動(dòng)態(tài)。當(dāng)空氣凈化系統(tǒng)正常運(yùn)行，已安裝過(guò)程設(shè)備且潔凈室中沒(méi)有生產(chǎn)操作員時(shí)，將執(zhí)行靜態(tài)測(cè)試。動(dòng)態(tài)測(cè)試在正常生產(chǎn)條件下的潔凈室中進(jìn)行。

各種空氣傳播顆粒物的中國(guó)GMP標(biāo)準(zhǔn)

有必要說(shuō)，盡管該儀器被稱為“計(jì)數(shù)器”，但儀器區(qū)分顆粒體積的能力更為重要。由于電脈沖的計(jì)數(shù)非常簡(jiǎn)單，并且粒徑的確定非常重要，因此省級(jí)和市級(jí)藥品檢驗(yàn)所，血液中心，防疫站，疾病控制中心和質(zhì)量監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)都使用了粉塵計(jì)數(shù)器和半導(dǎo)體。光學(xué)或精密加工，塑料，油漆，醫(yī)院，環(huán)境保護(hù)，檢查和維護(hù)中心以及其他制造企業(yè)和科研零件尤為重要。

當(dāng)前，在清潔環(huán)境中用于監(jiān)測(cè)空氣中塵埃顆粒的大多數(shù)儀器都是光散射顆粒計(jì)數(shù)器。在線粒子計(jì)數(shù)器可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地測(cè)量環(huán)境中粒子的數(shù)量和分布，并設(shè)置各種測(cè)量參數(shù)，例如自動(dòng)實(shí)時(shí)顯示，粒徑選擇，定時(shí)，延遲和重復(fù)測(cè)量以及平均測(cè)量。時(shí)間和日期設(shè)置，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和打印以及計(jì)數(shù)超限警報(bào)功能均由內(nèi)置的微計(jì)算機(jī)控制和實(shí)現(xiàn)，該微計(jì)算機(jī)可以監(jiān)視激光粒子傳感器的工作狀態(tài)。

在線粒子計(jì)數(shù)器具有測(cè)試精度高，性能穩(wěn)定，通用性強(qiáng)的特點(diǎn)。它是質(zhì)量監(jiān)督，超大型集成電路和超凈車間（房間），電子工業(yè)，醫(yī)療和健康以及食品的權(quán)威檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)。對(duì)于處理，光學(xué)或精密制造公司而言，它是檢測(cè)，清潔環(huán)境以及清潔房間清潔度的理想儀器機(jī)械和科學(xué)研究部門（例如航空航天）。

使用粒子計(jì)數(shù)器的注意事項(xiàng)

1、當(dāng)入口管被蓋住或堵塞時(shí)，請(qǐng)勿啟動(dòng)計(jì)數(shù)器

2、激光塵埃計(jì)數(shù)器應(yīng)在清潔的環(huán)境中使用，以防止損壞激光傳感器

3、請(qǐng)勿測(cè)量可能發(fā)生反應(yīng)的混合氣體（例如氫氣和氧氣）。氣體也可能在柜臺(tái)中爆炸。要測(cè)量這些氣體，請(qǐng)與制造商聯(lián)系以獲取更多信息。

4、請(qǐng)勿在沒(méi)有高壓減壓裝置（例如高壓擴(kuò)散器）的情況下對(duì)壓縮空氣進(jìn)行采樣。所有粒子計(jì)數(shù)器都設(shè)計(jì)為在一個(gè)大氣壓下工作。

5、水，溶液或其他液體不能從進(jìn)水管進(jìn)入傳感器。

6、粒子計(jì)數(shù)器主要用于測(cè)試凈化車間的清潔環(huán)境。如果在測(cè)試位置有松散的顆粒，粉塵源和噴霧，則其必須距離進(jìn)水管至少12英寸。為了防止上述顆粒和液體污染傳感器和管道。

7、采樣時(shí)，請(qǐng)避免采樣從計(jì)數(shù)器本身排放的氣體或被計(jì)數(shù)器產(chǎn)生的氣體污染的氣體。

8、當(dāng)連接外部打印機(jī)或外部溫度和濕度傳感器時(shí)，必須關(guān)閉計(jì)數(shù)器；否則，必須關(guān)閉計(jì)數(shù)器。否則，必須關(guān)閉計(jì)數(shù)器。執(zhí)行打印時(shí)，打印機(jī)上必須有紙，否則會(huì)損壞打印頭。